3M社と3次元チップ積層を可能にするテンポラリーウェーハボンディング技術の装置製造・販売 に関する提携

この提携によって、ユーシン精機は3M社の「ウェーハサポートシステム（WSS）」の認定装置 サプライヤーとして、UV（紫外線）硬化型の液体接着剤や光熱変換塗料といった3M社材料に特化 した装置の製造販売が可能となり、同日より全世界に向けて販売を開始する。

3M社の「ウェーハサポートシステム（WSS）」は、3次元チップ積層に必要とされるウェーハの薄化 や、極薄ウェーハの後続処理をサポートするテンポラリーウェーハボンディング技術で使用する材料や 装置のことで、斬新的な接着・剥離技術を駆使し、極薄裏面研削・フォトリソグラフィー・エッチング・ 成膜・メッキなどの工程でのウェーハ支持性能に優れたシステムである。UV硬化型接着剤（液体）を 使用してウェーハをガラスキャリアに貼り合わせるため、凹凸吸収性に優れ、ウェーハ薄片化が可能である。 また、接着剤やガラスキャリアの除去は、完全ドライプロセスにて行う。

本システムの装置は、ウェーハとガラスキャリアを貼り合わせる「マウンター」、 ウェーハ薄片化後のUV硬化型接着剤・ガラスキャリアを取り除く「デマウンター」、 回収したガラスキャリアを洗浄・コーティングし、再利用を可能にする「リサイクラー」の 3種の装置から構成されている。